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不可思议的迈克尔逊干涉仪

不可思议的迈克尔逊干涉仪

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  • 发布时间:2021-12-16 17:58
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不可思议的迈克尔逊干涉仪

【概要描述】迈克尔逊干涉仪可以快速收集整个零件的几何图形。通过选择不同的物镜,调整测量误差和测量范围,可以满足各种应用的需要。由于轴向测量范围较大,因此无需对零件几何形状进行可控补充。为了快速、大面积地通过扫描获得零件几何图形。对于表面高度变化明显的零件,可用三维模拟样品进行扫描。迈克尔逊干涉仪可用于测量漫反射、镜面和透明零件,以及大倾角零件的表面。

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迈克尔逊干涉仪可以快速收集整个零件的几何图形。通过选择不同的物镜,调整测量误差和测量范围,可以满足各种应用的需要。由于轴向测量范围较大,因此无需对零件几何形状进行可控补充。为了快速、大面积地通过扫描获得零件几何图形。对于表面高度变化明显的零件,可用三维模拟样品进行扫描。迈克尔逊干涉仪可用于测量漫反射、镜面和透明零件,以及大倾角零件的表面。

迈克尔逊干涉仪在零件表面投影一排约200个白光点。从零件表面反射的光将通过迈克尔逊干涉仪与零件表面之间的距离。通过新的线传感器,首次以高速、高精度和完整性采集零件的三维数据。一百万个测量点可以在三秒钟内测量。

迈克尔逊干涉仪还有另一个有趣的功能:分析和评估反射光的波长强度,并创建零件表面的网格图像。其随后的分析和评估允许通过图像处理软件确定零件坐标系或测量“图像中”的几何特征。在此基础上,由于位置的确定,可以使用各种其他传感器进行测量,而无需传感器转换。

在快速测量速度下,迈克尔逊干涉仪的测量精度允许测量精密零件和微观特征。迈克尔逊干涉仪不仅可用于测量镜面或透明零件,如冲压模具或硬质合金和金刚石工具,还可用于测量漫反射塑料零件。不同表面的形态由高点密度决定。例如,微型机械零件、手表表盘。迈克尔逊干涉仪的另一个典型应用是半导体技术领域中LED阵列的共面测量。作为测量结果,零件表面的完整形状以点云的形式反映出来,以便测量平面度或粗糙度以及几何元素。理论值和实际值之间的偏差也可以通过颜色编码显示。

一整套迈克尔逊干涉仪测量晶圆厚度。它是专门为精确测量非接触、有光泽、反光和透明材料而开发的。因此,传感器特别适用于光学元件,如镜子和透镜。半导体,例如通常对白光不透明的晶片,可以使用红外范围内的特殊变体进行测量,其光可以穿透半导体材料。

材料边界处每个边界表面的物理影响产生干涉,干涉将用于计算晶圆的层厚度。迈克尔逊干涉仪的主要优点是,它可以精确测量晶圆材料,而忽略粘合层、任何金属层和前端电气结构。


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